论文部分内容阅读
在亚微米超精密定位技术中，压电陶瓷的迟滞特性对定位精度影响较大。针对这一问题，提出了一种压电陶瓷迟滞特性的前馈控制算法。根据实验数据，借助Matlab软件建立压电陶瓷的迟滞数学模型，反求出输入电压转换函数，实现迟滞前馈控制。结果证明，利用该控制算法，压电陶瓷升／降压产生的位移线性度良好，迟滞在5％以内，可以满足亚微米定位需求。