【摘 要】
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作为微型气相色谱仪（Micro GC）的关键部件的微型热导检测器（Micro TCD）,其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素。从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院大学
【基金项目】
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上海市科委项目(14DZ1105102);国家自然科学基金资助项目(60876081,61172151);国家“863”计划资助项目(2009AA04Z317)
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作为微型气相色谱仪（Micro GC）的关键部件的微型热导检测器（Micro TCD）,其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素。从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到了温度波动对系统噪声的影响,并详述了Micro TCD加热模块的电路部分和算法部分。测试表明：Micro TCD的温度波动约为0.09℃,达到了商用GC控温精度的标准。
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