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应用材料公司推出新型Applied Quantum Ⅲ，将系统低能量离子植入的生产效能做了业界上前所未有的提升。这套系统不仅在多数应用上增加了15—20%的离子束电流，并有效地缩短扫描时间，使得系统生产效率提高20—50％。
应用材料推出新型Applied Quantum Ⅲ系统提高生产效能
【摘 要】
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应用材料公司推出新型Applied Quantum Ⅲ，将系统低能量离子植入的生产效能做了业界上前所未有的提升。这套系统不仅在多数应用上增加了15—20%的离子束电流，并有效地缩短扫描
【出 处】
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电子测试
【发表日期】
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2004年2期
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