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本文报道了由磁控溅射沉积的非晶 Si 薄膜与 Ti 膜组成新的一类超晶格的横向光伏效应。实验发现,这种光伏效应强烈地依赖于超晶格子层厚度及所使用的衬底导电类型。通过合理选择参数,可以得到横向光生伏特与光斑位置成很好的线性关系。
非晶Si／Ti超晶格的横向光伏效应
【摘 要】
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本文报道了由磁控溅射沉积的非晶 Si 薄膜与 Ti 膜组成新的一类超晶格的横向光伏效应。实验发现,这种光伏效应强烈地依赖于超晶格子层厚度及所使用的衬底导电类型。通过合理
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1989年2期
【基金项目】
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中国科学院科学基金 R-850196,,中国科学院上海硅酸盐研究所青年科学基金3006资助
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