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介绍了以DX - 3扫描电镜为基础 ,利用SDS - 2电子束扫描系统改装其偏转系统。并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴点源的三级几何像差系数和一级色差系数公式。应用中表明 ,复合系统结构简单紧凑 ,像差小而可以不用动态校正
聚焦偏转复合系统像差分析及应用
【摘 要】
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介绍了以DX - 3扫描电镜为基础 ,利用SDS - 2电子束扫描系统改装其偏转系统。并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴点源的三级几何像差系数和一级色差系数公式。应
【机 构】
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山东大学南区控制学院电子束室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年04期
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