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研制了一种用于样品成分分布分析的新型结构扫描电子显微镜。在该电镜中，同轴和近轴背反射电子经物镜聚焦和滤波后穿过探测器窗口被接收，与常规电镜相比，由这些高能同轴背反射电子所成的像反映了样品表面的不同成分分布信息，其形貌衬度被有效地抑制，这种新型电镜使得用一个探测器进行元素成分分布分析成为现实，为科学研究提供了一种简单实用的分析手段。