【摘 要】
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采用直流等离子体增强化学气相沉积（DC-PECVD）技术,在不同温度下于YG8硬质合金基体上沉积了类金刚石（DLC）涂层,探讨了沉积温度对DLC涂层结构、表面形貌、厚度、显微硬度、耐磨损
【机 构】
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华东理工大学机械与动力工程学院,北京航空材料研究院,第二炮兵驻红阳机械厂军代表室,赛屋涂层技术有限公司
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采用直流等离子体增强化学气相沉积（DC-PECVD）技术,在不同温度下于YG8硬质合金基体上沉积了类金刚石（DLC）涂层,探讨了沉积温度对DLC涂层结构、表面形貌、厚度、显微硬度、耐磨损性能以及界面结合性能的影响。结果表明：随着沉积温度的升高,DLC涂层中sp3键的比例呈先增大后减小的趋势,并在160℃达到最大,为69%;沉积温度过高将导致DLC涂层出现石墨化;DLC涂层的厚度、显微硬度、耐磨损性能、界面结合力均随沉积温度的升高呈先增大后减小的趋势,当沉积温度为160℃时,涂层表面平整光滑、致密,此时涂层
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