【摘 要】
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简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展，从原始概贪出发分析了学科的特点，据此评述了其领域的拓宽和现状，结合近5年来国内外的最新进展，以微电子学和光电子学为重点，兼顾生物和医
【基金项目】
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清华大学研究生院博士学位论文基金资助项目
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简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展，从原始概贪出发分析了学科的特点，据此评述了其领域的拓宽和现状，结合近5年来国内外的最新进展，以微电子学和光电子学为重点，兼顾生物和医学，地质和天体学科，纳米科技和环境监测等领域，讨论了其前沿在世纪之交对SIMS提出了挑战，介绍了定量分析和仪器的发展现状，有重点地结合一些实例，包括我国的一些实例展开了讨论。
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