【摘 要】
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用等离子浸没离子注入和沉积(PⅢ-D)的方法,采用三种工艺分别在Si、Ti6A14V和热解碳(LTIC)表面合成了TiN/Ti-0梯度薄膜.用可编程逻辑控制器(PLC)为核心的一套控制系统控制金
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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用等离子浸没离子注入和沉积(PⅢ-D)的方法,采用三种工艺分别在Si、Ti6A14V和热解碳(LTIC)表面合成了TiN/Ti-0梯度薄膜.用可编程逻辑控制器(PLC)为核心的一套控制系统控制金属源阴极的推进和气体成分的改变.使用纳米压痕仪、针盘式摩擦磨损试验机和结合力测试仪分析了梯度薄膜的力学性能,梯度薄膜硬度最高可达19.5 GPa,薄膜结合力可达到68 N左右.采用x射线衍射(XRD)分析表明,表层的薄膜为具有金红石结构的氧化钛,二次离子质谱(SIMS)对薄膜进行了定性分析,证实薄膜具有梯度特性.采
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