用Bessel-Box型能量分析器的离子规和四极质谱计的性能

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangtao870508
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
A novel energy analyzer with a simple-structured Bessel-box has been successfully developed and incorporated into ionization gauges and quadrupole mass spectrometers (QMS) to improve their measurement of the total and partial pressures,respectively.We found that the energy analyzer may not only effectively separate the gas phase ions and electron stimulated desorption (ESD) ions produced in the ionizer,but also screen the ion collector from irradiation of the soft X-rays and VUVphotons generated in the ionizer.The screening effects considerably better the trace impurity detection limit of the QMS down to a few tens ppb in the pressure range of 10-3 Pa.The modified ionization gauge is capable of measuring pressure ranging from 10-11 to 10-6 Pa in the pulse counting mode and its upper limit may extends to 10-3 Pa in DC ion current mode with typical sensitivities factor of(6.7±0.2)×10-3 Pa-1 for N2 and (2.3±0.2)×10-3 Pa-1 for H2,respectively.No ESD ions was observed in the simple-looking spectrum obtained with the modified QMS.We also found that the energy spectra of fragment ions depend strongly on species of parent ions.
其他文献
在未来的发展中,工程总承包模式势必会占领市场.所以要事先对总承包模式进行深入的研究,不断完善它的管理方式,推动我国建筑业的发展.解决目前存在的一些问题,对管理制度进行
大家好,我是能让度过人“求生不得,求死不能”的酷夏的起死回生之“药”--西瓜!别看我挺着大肚子,我可是内涵丰富的大胖子哦!我满肚子装的是营养丰富、消暑必备的“良药”。
洛阳水天伊色和伊河源生态旅游度假区均由河南彤辉集团投资开发.rn洛阳水天伊色项目位于洛阳市伊滨新区,总占地面积120余亩,规划建筑面积26万余平方米.项目涉及产品线非常丰
一条条大道通衢直达,一排排楼房鳞次栉比;广场绿树红花,田野苗绿叶肥……这是记者5月7日跟随河南省邓州市副市长贾里坚调研该市新型农村社区所看到的美丽景色。“从社区的房
项目管理方式在建筑工程管理中的主要作用就是对项目经理的综合能力进行整合,提升管理能力,加强对工程项目的规范化管理.在项目管理过程中,要根据项目的具体状况,通过项目成
加快构建强化农业基础的长效机制rn强化农业基础,必须引导要素资源合理配置,推动国民收分配切实向“三农”倾斜,大幅度增加对农业和农村投入.
近年来相继发生“毒奶粉”、“瘦肉精”、“地沟油”、“染色馒头”等事件,诸多恶性食品安全事件足以表明,我国面临的食品安全形势异常严峻。随着食品安全事件对社会经济负面
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥