【摘 要】
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为了实现对等离子体光栅共振波长的测量,研究光栅参数对应力的响应敏感程度,提出了一种新型的应力敏感型聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)薄膜等离子体光栅。基于
【机 构】
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中北大学理学院山西省光电信息与仪器工程技术研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金(61505179),山西省青年科学基金(201901D211234),面上自然基金项目(201901D111145)
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为了实现对等离子体光栅共振波长的测量,研究光栅参数对应力的响应敏感程度,提出了一种新型的应力敏感型聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)薄膜等离子体光栅。基于时域有限差分(finite difference time domain,FDTD)法的原理,构造了一种结构仿真模型,即周期性等离子体光栅模型。借助周期边界条件,通过对光栅施加应力,改变等离子体光栅参数(即周期、占空比及Au膜厚度)来实现共振波长的测量,研究光栅参数对应力的响应敏感程度。最后将仿真结果与理论数值作对比,并
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