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特种气体中单元高纯气体的品种及用途(续)
特种气体中单元高纯气体的品种及用途(续)
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jmshello
【摘 要】
:
本刊1983年No.4刊载了“特种气体中单元高纯气体的品种及用途”一文,时隔三年,作者又收集到20多种纯气,现予补充。
【作 者】
:
薛鸿堡
【机 构】
:
北京特种气体研究所
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1987年01期
【关键词】
:
电子气
MOCVD
特种气体
高纯气体
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本刊1983年No.4刊载了“特种气体中单元高纯气体的品种及用途”一文,时隔三年,作者又收集到20多种纯气,现予补充。
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