【摘 要】
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容值在pF级别，变化量在fF级别的电容传感器广泛应用于纳米级位移测量和电容层析成像等场景中.基于开关电容充放电原理，设计一种高分辨率的微变电容检测电路.整个电路采用CSMC 0.13 um CMOS工艺，利用Cadence Spectre仿真优化，分别实现了增益为99 dB、单位增益带宽为50 MHz的运算放大器和温度系数8.2 ppm/℃、电源抑制比-88 dB的带隙基准，并最终设计出分辨率为5
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（61904020）； 四川省大学生创新创业训练计划项目（S202111116052）； 成都工业学院校级项目（2020DZ006）；
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容值在pF级别，变化量在fF级别的电容传感器广泛应用于纳米级位移测量和电容层析成像等场景中.基于开关电容充放电原理，设计一种高分辨率的微变电容检测电路.整个电路采用CSMC 0.13 um CMOS工艺，利用Cadence Spectre仿真优化，分别实现了增益为99 dB、单位增益带宽为50 MHz的运算放大器和温度系数8.2 ppm/℃、电源抑制比-88 dB的带隙基准，并最终设计出分辨率为5 fF的电容检测电路.
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