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纳电子学和真空微电子学是九十年代微电子学的两个极有发展前途的新方向。本文概要介绍了纳电子学和真空微电子学发展的状况及其主要器件的工作原理，并介绍了它们的应用领域和发展方向。
九十年代微电子学突破方向的展望
【摘 要】
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纳电子学和真空微电子学是九十年代微电子学的两个极有发展前途的新方向。本文概要介绍了纳电子学和真空微电子学发展的状况及其主要器件的工作原理，并介绍了它们的应用领域和
【机 构】
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河北大学电子系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1992年6期
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