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综述了喷射沉积过程的多种状态参量实时检测技术,着重介绍了这些检测技术的最新进展情况,并对其发展和应用作出了评价和展望.
喷射沉积过程中实时检测技术研究的新进展
【摘 要】
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综述了喷射沉积过程的多种状态参量实时检测技术,着重介绍了这些检测技术的最新进展情况,并对其发展和应用作出了评价和展望.
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,上海交通大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2001年11期
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