N^＋反冲注入铁膜表面改性的显微分析研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dahar005

【摘要】

：

N+轰击工业纯铁表面上纯铁镀膜的微观组织结构是用X-ray衍射（XRD）,扫描电子波谱,透射电子显微分析（TEM）和选区电子衍射研究的。分析结果表明,表面显微硬度和耐磨性能

【作者】

：

刘福润鲁光源

【机构】

：

天津师范大学物理系,天津师范大学物理系300074,300074

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1992年6期

【关键词】

：

薄膜氮离子工业纯铁表面性质

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N+轰击工业纯铁表面上纯铁镀膜的微观组织结构是用X-ray衍射（XRD）,扫描电子波谱,透射电子显微分析（TEM）和选区电子衍射研究的。分析结果表明,表面显微硬度和耐磨性能的明显改善是由于氮化物(Fe4N9Fe2-3N,Fe2N,Fe3

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