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研制了一个通光口径Ф0=300nm,放大倍率为50倍的透射无光焦度系统.此光学系统为改进型的开普勒型无光焦度系统,它解决了伽利略型无光焦度系统没有实焦点、不能放置消杂光光阑、开普勒型无光焦度系统轴外像差不能校正的问题.系统光学材料全部采用德国进口Schott熔石英玻璃,物镜为高次非球面.经数字干涉仪检测,物镜系统最终面形误差峰谷值为λ/10,均方值误差优于λ/60.