【摘 要】
：
研究了基于圆片级苯并环丁烯(Benzocyclobutence,BCB)键合技术的Cu-Cu互连的界面情况。提出一种Cu凸点插针形式的圆片级BCB键合结构,研究BCB预固化程度、键合压力以及BCB与Cu
【机 构】
：
上海航天电子技术研究所; 中国电子科技集团公司第五十五研究所;
论文部分内容阅读
研究了基于圆片级苯并环丁烯(Benzocyclobutence,BCB)键合技术的Cu-Cu互连的界面情况。提出一种Cu凸点插针形式的圆片级BCB键合结构,研究BCB预固化程度、键合压力以及BCB与Cu厚度差等因素对晶圆界面键合质量的影响,并对此键合结构进行了键合空洞检测与剖面SEM分析,以及温循可靠性评价。结果表明,当预固化温度为210℃、键合压力为2×10~5 Pa,电流密度为20mA/cm~2、Cu与BCB厚度差值为3μm时,键合结构界面无空洞、键合质量高,并且Cu-Cu互连导通良好,接触电阻小于10mΩ。
其他文献
江苏省地处南北水果交界地带．虽然大宗水果苹果、柑桔处于次适宜地区．但发展名特优新稀高档应时鲜果的条件十分优越。同时，江苏省地处长江三角洲上海经济强势区，大中城市密集，对高
安然公司一案的影响是巨大的,已经成为商业丑闻,甚至是政治丑闻。安然事件暴露了资本主义市场经济的消极面,也说明美国法制经济仍存在种种漏洞。安然丑闻打破了美国人自信他
根据第六次人口普查和第二次全国残疾人抽样调查发现截止到2010年末,我国听力残疾人数高达2054万。基于如此庞大的听力障碍人群的基数,为实现教育公平,就必须要大力发展特殊
研究了豌豆蛋白质的起泡性与乳化性。在起泡性(FAI)单因素试验中发现,在3%蛋白质浓度、1.75 mmol/L NaCl、50℃和pH9.0时FAI较高。在3%蛋白质浓度、0.75mmol/L NaCl、45℃和p
目的研究移动端应用软件不同页面加载方式对时间知觉的影响。方法模拟用户在移动产品使用过程中因系统响应产生的等待情景,被试的任务是对实验样本的时间知觉长短进行评分,并
市场上可以赊销商品，诚信作为一种职业道德，也能赊销吗？其实，只要条件适合，这招同样可以一试 河北省昌黎县马坨店乡大夫庄村的卖油郎田永安就使用了这种经营方法，取得了成功。
近年来,随着科学技术的不断发展,在建筑装饰施工中,建筑施工材料也得到了不断地发展,人们对建筑材料的要求也随之提高,不仅要求装饰材料的美观,还要求绿色环保,因此,绿色环保
目的:探讨对不同类型的侵袭性牙周炎(AgP)患者进行牙周基础治疗的临床效果。方法:选取张家港广和中西医结合医院2016年5月至2017年5月期间接诊的68例广泛型侵袭性牙周炎(GAgP
牙膏可治手脚裂口牙膏具有消炎止痒的作用,如发现手、脚有裂口时,可以将其洗净,涂上牙膏,数日即可愈合。磨菜刀的窍门把用钝的菜刀,先放在盐水中泡20分钟,然后再磨,边磨边浇
介绍了硒元素对人体健康的重要性、成人每日摄入量的安全范围和我国富硒茶生产的概况,分析了当前各地富硒茶产品的质量状况和存在的主要问题,研究总结了目前农业部标准和陕西