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在热丝化学气相沉积系统中，采用变压沉积金刚石薄膜，晶粒生长速率显著提高，而孪晶密度下降。
热丝CVD法变压沉积金刚石薄膜
【摘 要】
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在热丝化学气相沉积系统中，采用变压沉积金刚石薄膜，晶粒生长速率显著提高，而孪晶密度下降。
【机 构】
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湖南大学材料测试研究中心
【出 处】
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矿冶工程
【发表日期】
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1997年03期
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