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Influence of Annealing on Properties of ZnO Films Grown via Plasma-enhanced MOCVD
Influence of Annealing on Properties of ZnO Films Grown via Plasma-enhanced MOCVD
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wilinne
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
ZHAO Bai-jun
DU Guo-tong
YANG
【机 构】
:
College of Electronics and Engineering, Jilin University, Changchun 130023, P. R. China
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
Plasma-enhanced MOCVD
Sapphire
Substrate
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本文通过对荣华二采区10<
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