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探讨了在机械研磨的界面上引入超声能的复合研磨方式，将机械研磨和超声／机械研磨两种方法的去除效率、研磨质量进行了实验对比，发现超声／机械复合研磨的效率和质量都有显著提高，可以达到插入损耗小于0．1dB、回波损耗小于-60dB的性能指标；对超声／机械复合研磨的机理进行了初步分析。获得的规律对工艺研究及工业生产有指导意义。