喷涂热解CdS薄膜的热处理对薄膜电学性质的影响

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据报道,法国PPI利用喷涂热解技术制备的61cm×61cm的Cu_2S/CdS太阳电池已正式投产,最高效率达7.3%(1cm~2)。我们曾用该法制备了某些Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ族三元化合物薄膜。本文报道了用喷涂热解法制备的CdS薄膜性质,讨论了不同工艺条件和喷涂液组成对CdS薄膜结构的影响,以及在不同气氛中热处理对薄膜电学性质的影响,同时还报道了用该薄膜 According to reports, France PPI prepared by spray pyrolysis technology 61 × 61cm Cu_2S / CdS solar cells have been officially put into operation, the maximum efficiency of 7.3% (1cm ~ 2). We have used this method to prepare some Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ ternary compound films. In this paper, the properties of CdS thin films prepared by spray pyrolysis are reported. The effects of different process conditions and composition of spray solution on the structure of CdS thin films are discussed. The effects of heat treatment in different atmospheres on the electrical properties of CdS thin films are also reported.
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