【摘 要】
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We demonstrate the ability of a combined scanning electron microscope and cathodoluminescence(CL) spectral mapping system to provide important spatially resolve
【机 构】
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Physics and Advanced Materials University Technology,
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We demonstrate the ability of a combined scanning electron microscope and cathodoluminescence(CL) spectral mapping system to provide important spatially resolved information.The degree of inhomogeneity in spectral output across a multi-quantum well sample is measured using the SEM-CL system as well as measuring the efficiency roll-off with increasing carrier concentration.The effects of low energy electron beam modification on the InGaN/GaN multi quantum wells have also been characterized.
We demonstrated the ability of a combined scanning electron microscope and cathodoluminescence (CL) spectral mapping system to provide important spatially resolved information. The degree of inhomogeneity in spectral output across a multi-quantum well sample is measured using the SEM-CL system as well as measuring the efficiency roll-off with increasing carrier concentration. These effects of low energy electron beam modification on the InGaN / GaN multi quantum wells have also been characterized.
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