铜材料X射线聚焦组合透镜的设计与制作

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铜材料X射线聚焦组合透镜是一种基于折射效应的X射线聚焦元件.简单介绍了组合透镜的设计理论研究结果,并据此对材料作了选择.针对铜材料组合透镜,分析了组合透镜结构参数、X射线工作波长的选择对组合透镜光学性能的影响.在此基础上,设计了组合透镜的结构参数,使其在硬X射线波段具有较好的聚焦性能,并能获得较高的焦斑强度.采用准LIGA技术制作了铜材料X射线组合透镜,给出了部分铜材料X射线组合透镜结构测量结果.
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