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期刊论文
微细电铸制造技术的研究进展
微细电铸制造技术的研究进展
来源 :电镀与涂饰 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wucaixia303
【摘 要】
:
介绍了微细电铸技术的基本原理,阐述了超声微细电铸、磁电微细电铸、超临界微细电铸和屏蔽模板随动式微细电铸这4种新型制造工艺的原理及研究进展,指出了今后的研究重点。
【作 者】
:
房佳恒
张华
姜新东
孟礼
【机 构】
:
南通大学机械工程学院
【出 处】
:
电镀与涂饰
【发表日期】
:
2018年13期
【关键词】
:
微机电系统
微细加工
电铸
超声波
磁场
超临界流体
综述
【基金项目】
:
江苏省研究生科研与实践创新计划项目(KYCX18_2418);国家自然科学青年基金项目(51205212);江苏省自然科学青年基金项目(BK2012233);南通市应用基础研究项目(GY12015019);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目;2014年度江苏省青蓝工程
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介绍了微细电铸技术的基本原理,阐述了超声微细电铸、磁电微细电铸、超临界微细电铸和屏蔽模板随动式微细电铸这4种新型制造工艺的原理及研究进展,指出了今后的研究重点。
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