【摘 要】
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目前,上海市执行的《半导体行业污染物排放标准》(DB31/445-2006)中氟化物排放限值为20mg/L,虽然即将实施的《电子工业污染物排放标准》二次征求意见稿中氟化物间接排放限值
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,上海达恩贝拉环境科技发展有限公司
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目前,上海市执行的《半导体行业污染物排放标准》(DB31/445-2006)中氟化物排放限值为20mg/L,虽然即将实施的《电子工业污染物排放标准》二次征求意见稿中氟化物间接排放限值没有变化,但北京市现行的《水污染物综合排放标准》(DB11/307-2013)表3中规定,排入公共污水处理系统的氟化物限值仅为10mg/L。对于整个半导体行业来说,氟化物的排放限值要求有日益严格的趋势。出于对排放标准的前瞻性考虑,为应对日益严格的污染物排放要求,某半导体公司对既有的含氟废水混凝-沉淀处理工艺做出了一系列改进,包
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