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提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上，以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优，确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系。基于该优化方法的对接区域长度由θ唯一确定，且当θ较小时，其仅为斜线段光强控制方法确定的对接长度的2倍。实验结果与理论分析吻合，表明该优化方法进一步增加了对接区域曝光量分布的有效过渡长度，减缓了曝光量在路径方向上的变化速率，从而在保证直写效率的同时提高了线条对接质量。