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针对波长为650nm和10.6μm的激光器,选用了ZnS和YbF3作为膜料,采用离子辅助沉积技术,在多光谱ZnS基底上制备了650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片。通过对膜系设计和优化工艺参数的研究,解决了膜层牢固性,改善了薄膜的激光损伤阈值,并给出了综合测试结果和实测光谱曲线。
650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片
【摘 要】
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针对波长为650nm和10.6μm的激光器,选用了ZnS和YbF3作为膜料,采用离子辅助沉积技术,在多光谱ZnS基底上制备了650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片。通过对膜系设计和优化
【机 构】
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长春理工大学
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2008年5期
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