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设计了硅微型惯性加速度计的敏感头并应用激光加工和化学蚀刻相结合的工艺方法制造得到了满意的结构,应用激光光纤测振仪检测了悬臂梁振动特性.
硅微型惯性加速度计中敏感头的研究
【摘 要】
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设计了硅微型惯性加速度计的敏感头并应用激光加工和化学蚀刻相结合的工艺方法制造得到了满意的结构,应用激光光纤测振仪检测了悬臂梁振动特性.
【机 构】
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清华大学材料系,100084
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2000年3期
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