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本文介绍了晶向偏离度的测定方法,阐述了三种不同要求下晶向偏离度的测定方法,并描述了一些可能导致晶向偏离度计算错误或者晶向偏离不一致的情况。
硅晶圆的晶向偏离度测定方法探索
【摘 要】
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本文介绍了晶向偏离度的测定方法,阐述了三种不同要求下晶向偏离度的测定方法,并描述了一些可能导致晶向偏离度计算错误或者晶向偏离不一致的情况。
【机 构】
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有研半导体材料有限公司
【出 处】
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产业与科技论坛
【发表日期】
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2019年7期
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