【摘 要】
：
采用拉曼光谱技术分析了不同生长气压和碳源浓度下,硅基HFCVD硼掺杂金刚石薄膜中的残余应力,并使用光刻和反应离子刻蚀技术加工出多种金刚石薄膜微结构。研究结果表明:利用热
论文部分内容阅读
采用拉曼光谱技术分析了不同生长气压和碳源浓度下,硅基HFCVD硼掺杂金刚石薄膜中的残余应力,并使用光刻和反应离子刻蚀技术加工出多种金刚石薄膜微结构。研究结果表明:利用热丝CVD沉积的硅基金刚石薄膜内存在残余压应力,通过优化生长气压,可以有效降低金刚石薄膜的残余压应力,在生长气压从1.3kPa增加至6.5kPa的过程中,晶格缺陷增加,残余压应力减小。碳源浓度的变化对残余应力的影响较小,但对薄膜质量影响较大。采用低残余应力的金刚石薄膜通过光刻和反应离子刻蚀获得了悬臂梁、角加速度计、声学振膜等微结构。
其他文献
关于广告的知识,涉及心理学、经济学、新闻学、艺术学的方方面面,但又不等同于这些学科的知识的简单求和。在20世纪上半叶,上述这些学科构成了中国广告学的学术源头,成为"广
和隐喻一样,转喻是人类的一种基本认知方式,在人类日常生活实践中起重要的作用。目前将翻译和转喻相结合的研究比较少,有待进一步探讨深化。文章以杨宪益、戴乃迭翻译的鲁迅
提高生长速率是降低金刚石薄膜应用成本的关键因素之一,目前研究的提高速率的方法中以偏压电子增强为主,而该方法不适宜表面复杂的刀具涂层。本文通过在无偏压热丝化学气相沉
<正>当前,随着课程改革的不断深入,初中语文学科的课程性质如何转变、课程目标怎样达成、课程任务如何安排,成为我们每一个教育者都应该思考的问题。无论以何种观点看待语文
在建筑工程土建施工中,桩基础施工技术应用的是非常广泛。这种应用一方面使得建筑工程有了一定的保障,另一方面也提升了建筑桩基础施工的质量以及效率。而在桩基础的施工过程
鸡球虫病是养鸡生产中经常发生的一种寄生虫病,往往采用疫苗免疫接种来控制,生产中常用的接种方法有:滴口、拌料、喷雾和饮水等,将这几种不同免疫接种方法进行分析比较,供同
对网络书店与图书馆OPAC系统的运作模式、检索功能、信息揭示、特色推荐服务、2.0服务等方面作了详细的比较,总结出我国图书馆OPAC的不足,提出了OPAC应借鉴网络书店成功的要
通过对作业成本法的应用原理及状况进行探讨,在对国有林场生物资产成本核算应用作业成本法的必要性和可行性进行研究的基础上,分析了国有林场现行成本核算存在的问题,提出了
目的了解我县婴幼儿维生素A营养缺乏状况,为其防治措施提供科学依据。方法2008年2月～2008年8月对全县18个乡镇36个行政村的638名7个月～3岁的婴幼儿进行了维生素A营养状况调查及