柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟

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通过对柱状薄膜型压电微电机致动机理的研究,运用有限元模拟进行模态分析.通过对定子固有频率以及机构尺寸的计算,为类似研究探讨提供一种行之有用的方法.
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