同质外延生长ZnO单晶结构及光电性能的研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woxiangtoucai

【摘要】

：

本文报道了同质外延生长氧化锌(ZnO)单晶在高温氧气气氛退火前后的结构及光电特性。利用化学气相输运(CVT)法生长了红棕色的ZnO单晶,且进行高温氧气气氛退火处理后的ZnO单晶

【作者】

：

刘振华樊龙符亚军王进曹林洪吴卫东

【机构】

：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,西南科技大学材料科学与工程学院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2021年4期

【关键词】

：

ZnO 化学气相生长法晶格氧光学禁带宽度载流子浓度 Hall效应

【基金项目】

：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心基金(2018BB02);国家自然科学基金(11905199，2020YJ0333)

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本文报道了同质外延生长氧化锌(ZnO)单晶在高温氧气气氛退火前后的结构及光电特性。利用化学气相输运(CVT)法生长了红棕色的ZnO单晶,且进行高温氧气气氛退火处理后的ZnO单晶呈现无色透明状。通过X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、能谱仪(EDS)和拉曼(Raman)光谱测试分析了高温氧气气氛退火前后的ZnO单晶结构,讨论了退火对单晶内部缺陷类型及结构的影响。XRD测试表明ZnO单晶的生长方向为(002)方向。退火前后ZnO单晶的ω摇摆曲线半高宽分别为59″和31″,表明退火后单晶内缺陷显

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