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以流动气体(N2，Ar2)作为反应环境。利用开放式激光熔蒸系统。通过改变制备参数：熔蒸激光强度，流动气体种类及其流速，激光熔蒸时间，制备出一系列纳米硅样品．利用Raman光谱对在不同参数下所得到的样品表面形貌进行分析，可以看出，激光强度对生成的样品表面形貌有最直接的影响。并决定生成粒子的大小．而流动气体的种类则影响着沉积粒子的分布及其大小．流动的气体防止生成的纳米硅在开放系统中被氧化。而激光熔蒸时间对样品表面形貌的作用则表现的不是很明显．