改进型非相移的傅氏变换轮廓测量法

来源 :清华大学学报(自然科学版) | 被引量 : 6次 | 上传用户:guilinzd
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为提高傅氏变换轮廓法 (FTP)的最大可测梯度 ,改进了一种不需移相就能去除零次分量的新方法。通过额外产生零次分量并将其从畸变栅线频谱中去除 ,可使主频带在低频段得到很大扩展。同时控制 Ronchi光栅散焦 ,可有效抑制空间高次谐波。该方法建立的光学模型符合实际测量情况 ,据理论分析可将最大可测梯度提高至原来的 3倍。较之以往通过精确相移滤除零次分量的方法 ,该方法更易实施
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