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为了使4200型半导体特性描述系统（以下简称4200系统）能够最大限度地发挥作用，根据工作需要将该系统首次用于PCM参数测试。同时，与使用传统的晶体管图示仪测试的PCM参数进行了对比。结果表明，4200系统在PCM参数测试中具有很高的实用性，为稳定工艺提供了可靠监控手段。
4200测试系统在PCM参数测试中的应用
【摘 要】
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为了使4200型半导体特性描述系统（以下简称4200系统）能够最大限度地发挥作用，根据工作需要将该系统首次用于PCM参数测试。同时，与使用传统的晶体管图示仪测试的PCM参数进行了对比
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2009年4期
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