【摘 要】
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利用原子力显微镜对真空蒸发镀膜技术制得的单晶铜薄膜试件进行了纳米压痕试验.通过进行各种压痕深度下的试验,获得了压痕深度对试件力学性能的影响关系.试验得到的试件弹性
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利用原子力显微镜对真空蒸发镀膜技术制得的单晶铜薄膜试件进行了纳米压痕试验.通过进行各种压痕深度下的试验,获得了压痕深度对试件力学性能的影响关系.试验得到的试件弹性模量为67.0 GPa±6.9 GPa.试件的硬度值随着压痕深度的减小而不断增大,表现出强烈的尺寸效应.在原子力显微镜试验的同时,使用分子动力学仿真方法对单晶铜薄膜的纳米压痕过程进行了研究.仿真结果表明单晶铜薄膜的纳米压痕的力学机理不是位错在晶体中运动产生的塑性变形,而是非晶态产生的变形,从而解释了尺寸效应产生的原因.
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