【摘 要】
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为了将芯片制造行业中属于危废的缓冲氧化物蚀刻液（BOE）废液资源化利用，研究了双极膜电渗析法处理BOE废液的工艺方法。结果表明，在溶液氟化铵的质量分数12.9%的情况下，产质量浓度60 g/L的氢氟酸时，双极膜的酸室电流效率约为75%，相当于氟化氢产品的双极膜电耗约为4.3～4.5 MW·h/t；碱室电流效率约为68%，相当于氢氧化钾产品的双极膜电耗约为1.6～1.8 MW·h/t。实现了将BOE
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为了将芯片制造行业中属于危废的缓冲氧化物蚀刻液（BOE）废液资源化利用，研究了双极膜电渗析法处理BOE废液的工艺方法。结果表明，在溶液氟化铵的质量分数12.9%的情况下，产质量浓度60 g/L的氢氟酸时，双极膜的酸室电流效率约为75%，相当于氟化氢产品的双极膜电耗约为4.3～4.5 MW·h/t；碱室电流效率约为68%，相当于氢氧化钾产品的双极膜电耗约为1.6～1.8 MW·h/t。实现了将BOE废液直接转化成具有经济效益的氢氟酸与对应的碱，其经济和环保效益显著。
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