【摘 要】
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当前的光学检测非接触电子测量装置,无法有效抑制光散斑的干扰,测量结果存在较高的偏差。针对该种现象,设计并实现基于激光传感器的电子测量装置,其采用激光三角法实现测量,
【基金项目】
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四川省教育厅项目(No.16ZB0395);四川省教育厅项目(No.16ZA0376)
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当前的光学检测非接触电子测量装置,无法有效抑制光散斑的干扰,测量结果存在较高的偏差。针对该种现象,设计并实现基于激光传感器的电子测量装置,其采用激光三角法实现测量,给出了具体的测量过程,设计了基于EPM7064SLC44型CPLD的可自动调节曝光时间的CCD驱动电路。给出了基于反馈模式自主调控CCD曝光时间的原理图,确保CCD输出信号保持在一定的电压区间,提高CCD测量结果的准确度。分析了可自动调节曝光时间电路和控制流程,采用可靠性排序滤波算法解决激光光斑存在的毛刺、多峰问题,提升装置的测量精度。实验结果说明,所设计测量装置重复性为0.5225μm,装置的光源稳定性误差和工艺误差都较低,具有较高的测量精度。
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