硫钝化对GaAs MESFET饱和源漏电流影响的实验研究

来源 :河北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangyan820923
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硫钝化对GaAs FET的电特性有重要影响[1].本文分析了硫钝化后GaAs MESFET饱和源漏电流(IDSS)下降的原因,认为硫处理降低了Nd和Nd/Na(Nd为施主缺陷密度;Na为受主缺陷密度),表面费米能级向价带顶移动,能带弯曲加剧,表面耗尽层变厚,导电沟道变窄,是导致饱和源漏电流下降的主要因素.对样品进行225℃退火可使饱和源漏电流恢复到钝化前的水平.
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