【摘 要】
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碲锌镉材料是制备高性能碲镉汞红外焦平面探测器不可或缺的衬底材料。液相外延工艺和分子束外延工艺分别需要使用（111）晶面和（211）晶面碲锌镉衬底制备碲镉汞薄膜材料。低偏角、高精度衬底的选取有利于高质量碲镉汞外延层的获得。介绍了孪晶线快速定向法、使用X射线衍射仪（X-Ray Diffractometer, XRD）定向法确定碲锌镉晶体（111）晶面以及用XRD由（111）晶面获得（211）晶面碲锌镉
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碲锌镉材料是制备高性能碲镉汞红外焦平面探测器不可或缺的衬底材料。液相外延工艺和分子束外延工艺分别需要使用（111）晶面和（211）晶面碲锌镉衬底制备碲镉汞薄膜材料。低偏角、高精度衬底的选取有利于高质量碲镉汞外延层的获得。介绍了孪晶线快速定向法、使用X射线衍射仪（X-Ray Diffractometer, XRD）定向法确定碲锌镉晶体（111）晶面以及用XRD由（111）晶面获得（211）晶面碲锌镉的方法。研究结果对高性能碲镉汞探测器研制具有重要意义。
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