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<正> 近年来,氢在晶态半导体中的作用受到愈来愈多的关注,主要是氢或其同位素不仅可以钝化半导体中广泛类别的深能级,还可钝化浅杂质;同时,氢的存在还在半导体中引入与氢有关的缺陷与深能级。另外,氢广泛存在于许多化学试剂及水中,其扩散系数又远大于其它许多杂质,因而氢普遍地存在于半导体之中,对半导体性质产生深刻影响。