【摘 要】
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随着集成电路线宽变窄，要求铜互连表面具有更低的表面粗糙度，对化学机械抛光（CMP）技术提出更高的要求。采用聚苯乙烯（PS）-二氧化硅（SiO2）复合颗粒作为铜层CMP的抛光磨粒，研究出PS—SiO
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室,深圳清华大学研究院
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划（973计划）（2011CB013102,2009CB724201）,国家高技术研究发展计划（863计划）重点项目（2009AA043101）,科技部国际科技合作计划项目（2011DFA73410）.
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随着集成电路线宽变窄，要求铜互连表面具有更低的表面粗糙度，对化学机械抛光（CMP）技术提出更高的要求。采用聚苯乙烯（PS）-二氧化硅（SiO2）复合颗粒作为铜层CMP的抛光磨粒，研究出PS—SiO2核壳结构的形成条件，分析新型抛光液体系中各颗粒含量、pH值等因素对Cu抛光效果的影响，通过X射线光电子能谱（XPS）、扫描电镜（SEM）等手段探讨其中的抛光机制和颗粒残留等问题。结果表明：较之PS、SiO2颗粒抛光液，复合颗粒抛光液抛光cu后，获得更大的去除和更好的表面质量，且与抛光过程中摩擦因数的关系相符合。
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