Dependence　of　surface　morphology　of　CVD　diamond　films　on　deposition　conditions

来源 :Semiconductor Photonics and Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：morenedu

【摘要】

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ＤｅｐｅｎｄｅｎｃｅｏｆｓｕｒｆａｃｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙｏｆＣＶＤｄｉａｍｏｎｄｆｉｌｍｓｏｎｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓＹＡＮＧＧｕｏｗｅｉ（Ｄｅｐｔ．ｏｆＰｈｙｓ．，ＸｉａｎｇｔａｎＵｕｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉａｎｇｔａｎ４１１１０５... DependenceofsurfacemorphologyofCVDdiamondfilmsondepositionconditionsYANGGuowei (Dept.ofPhys., XiangtanUuiversity, Xiangtan411

【出处】

：

Semiconductor Photonics and Technology

【发表日期】

：

1995年Z1期

【关键词】

：

diamond deposition conditions CVD Dependence films morphology of surface

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