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本文综述了直拉(CZ)硅单晶中与氧杂质有关的热施主现象的研究,阐述了硅中热施主的基本性质、基本理论、近期研究进展以及主要研究方向。
硅晶体中热施主研究
【摘 要】
：
本文综述了直拉(CZ)硅单晶中与氧杂质有关的热施主现象的研究,阐述了硅中热施主的基本性质、基本理论、近期研究进展以及主要研究方向。
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
：
材料科学与工程
【发表日期】
：
1993年4期
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