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报道了一种半导体激光列阵侧面泵浦Nd：YAG四倍频266nm全固态紫外激光器，采用Z型腔结构，Ⅰ类临界相位匹配LBO和BBO晶体分别作为二倍频晶体和四倍频晶体。在调制频率为5kHz时，最终获得了2．1W的266nm紫外激光输出，单脉冲能量420μJ，绿光到紫外激光的转换率为13．13％，在相同的泵浦功率下利用V型腔结构仅获得305mw的266nm紫外激光输出。