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简要介绍了铟（In）的用途及国内铟产业的现状。重点介绍了国内外ITO（铟锡氧化物）靶材的研究现状、主要制备方法（热等静压法、热压法和烧结法）及发展趋势。
ITO靶材的研究与发展
【摘 要】
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简要介绍了铟（In）的用途及国内铟产业的现状。重点介绍了国内外ITO（铟锡氧化物）靶材的研究现状、主要制备方法（热等静压法、热压法和烧结法）及发展趋势。
【机 构】
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昆明理工大学稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室,昆明理工大学材料与冶金工程学院
【出 处】
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电工材料
【发表日期】
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2008年2期
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