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电子诱导脱附是近年来在真空科学与表面科学领域内的热门研究课题.它不仅作为研究和探讨原子激发过程以及电子能量传输机制的有效手段,而且已经逐渐成为获取表面和界面结构、状态等信息的有效方法."信号调制法"是利用脉冲电流能量调制的电子探束取代传统的直流电子探束,并通过测量电子诱导脱附产物引起的压强变化量,来研究电子诱导脱附的新方法.本文系统地介绍了该方法的基本原理,并从理论上对该方法带来的测量误差进行了分析.