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本文介绍了不用接受器、在行被谐振器内用微波加热低电阻率半导体带材的技术。这项技术被认为在同时均匀加热差不多30片带材方面具有发展前途。
用行波加热低电阻率半导体薄片和带材
【摘 要】
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本文介绍了不用接受器、在行被谐振器内用微波加热低电阻率半导体带材的技术。这项技术被认为在同时均匀加热差不多30片带材方面具有发展前途。
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1991年2期
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