Ag-TiO2薄膜表面等离子体共振光谱特性研究

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以拓宽Ag膜波长调制型表面等离子体共振(SPR)传感器的工作波长区间,将Ti O_2膜沉积于Ag膜表面制成Ag-Ti O2复合薄膜。利用数值计算方法对不同厚度Ag膜和Ag-Ti O2复合膜波长调制型SPR光谱特性进行仿真研究。仿真结果表明:共振吸收峰显著依赖于Ag膜厚度;当保持Ag-Ti O2复合膜厚度60 nm时,复合薄膜SPR波长随Ti O2厚度的增大而向长波长方向移动,发现红移;与60 nm厚Ag膜共振波长相比,12 nm厚Ti O2与48 nm厚Ag组成的复合膜共振波长红移超过200 nm。
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